半導體環境露點儀是一種能夠直接測出氣體中水蒸氣露點溫度的儀器。其工作原理通常基于冷鏡法，即通過一個高度拋光的鏡面暴露在待測氣體中，并逐漸降低鏡面的溫度，直到鏡面上開始凝結出露滴（或冰晶）的瞬間，此時鏡面的溫度即為露點溫度。露點溫度是氣體中水蒸氣含量達到飽和狀態時的溫度，是表示氣體絕對濕度的一種方式。
半導體環境露點儀的維護保養包括定期清潔、校驗以及保持設備干燥等方面的工作，以確保設備的長期穩定性和準確度：
1、定期清潔
露點儀在使用一段時間后可能會因為環境中的塵埃和其他污染物影響其測量精度。建議使用專業的清潔劑或干凈的布定期清洗傳感器和鏡面等關鍵部件。注意避免過度用力擦拭，防止劃傷或留下纖維毛屑。
吸入樣本空氣的管道也需要保持清潔，以防管道內的雜質吸取或放出水分，造成測量誤差。定期檢查并清理這些管道，確保暢通無阻。
2、校驗
探頭在使用一段時間后應進行清潔并進行校驗，以保持測量的準確性。建議每一年內進行一次校驗，與廠商聯系完成此操作。通過校驗，可以確保露點儀的讀數始終保持在允許的誤差范圍內。
調節氣體流量時，應緩慢打開控制針型閥，使流量指示在0.5-0.6升/分鐘。如果流量超過1升/分鐘，液晶上會顯示超限提示，此時應減小流量至規定值，以避免損壞電子流量傳感器。
3、保持干燥
露點儀本身對濕度非常敏感，因此需要保持在干燥的環境中使用和儲存。避免在高濕環境下長時間工作，以防止傳感器和其他敏感部件受潮。
設備不使用時，應存放在通風良好且干燥的地方，避免因潮濕環境導致的內部元件受潮和腐蝕。
4、電源管理
露點儀使用電池供電時，應在使用一天后及時充電。充電只需將電源線接入220V插座，無需關閉電源開關，儀器會自動開始充電，充電時間通常為5小時以上。這可以確保設備在下一次使用時電量充足，避免因電量不足影響使用。
在充電和存放過程中，還應檢查電源線和插頭是否有磨損或損壞，以防止漏電或短路事故。
5、系統檢查
定期檢查取壓管路及閥門接頭處有無泄漏現象，如有泄漏應及時處理。確保所有連接部位緊固可靠，避免因接口問題導致測量誤差。
檢查設備及其附件的清潔狀態，保持外殼、顯示屏和操作按鈕的清潔，以便清晰觀察參數顯示并減少操作失誤。
