臭氧分析儀是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，能得出臭氧濃度大小。
臭氧分析儀主要由低壓紫外燈、入射紫外光反射器、光波過濾器、臭氧吸收池、采樣光電傳感器、樣品光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。是根據Lambert and Beer定律推出的。在這個臭氧濃度計算公式中，只要知道樣品電流、采樣電流和臭氧吸收池距離，那么我們可以計算出臭氧濃度大小。由于臭氧吸收池的距離的限制，大臭氧濃度只能測到300 O3 g/m。
臭氧分析儀的工作原理時通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
