106L臭氧分析儀是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，能得出臭氧濃度大小。
臭氧分析儀的工作原理時通過空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統時，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經過臭氧滌除器再進入吸收池，此時臭氧對254nm波長的紫外光有特征吸收。當零空氣樣品通過吸收池時被光度檢測器測定的光強度為I0；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時，被光度檢測器測定的光強度為I。如此每經過一個周期，儀器的數據處理系統根據朗伯-比爾定律求出臭氧的濃度。
1、采樣管材料應選用抗強氧化的材料,如玻璃、聚四氟乙烯、聚偏二氟乙烯;不銹鋼材料也盡量少用,以減少采樣管中臭氧損耗.
2、采樣管應盡量短,測量低濃度時一般不要超過2m.
3、從采樣管到檢測儀器,不要漏氣,否則測量值偏低.
4、檢測較低濃度(如檢測環境)臭氧時,新的聚四氟乙烯管也要充分的進行“臭氧化”,即通過含較高濃度臭氧的氣體來穩定采樣管內壁.
5、采樣管要定時清洗、吹干.不清潔的采樣管會使測量值偏低很多.
6、臭氧分析儀要定時進行標定,以測量數據.
